一种蒸发舟
基本信息
| 申请号 | CN202022976483.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213924988U | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN213924988U | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐蒙蒙;陶培培;陈千里;史晓波 | 申请（专利权）人 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蒸发舟，通过在舟体中设置第一遮挡板、第二遮挡板和第三遮挡板，使得熔融的蒸镀材料溅射出的大颗粒原子被第一遮挡板、第二遮挡板和第三遮挡板来回反射，经过多次反射之后，分解为小颗粒，在本质上解决蒸镀材料溅射引起的短路问题。 |
