一种可升降晶圆盒
基本信息
| 申请号 | CN202120778906.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214428612U | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN214428612U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄世昌;刘政;王徐亮;祝晓钊;冯敏强 | 申请（专利权）人 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱振德 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种可升降晶圆盒，包括壳体，壳体内部设置有多个晶圆格，每个晶圆格上均设置有开口槽体，开口槽体内连接有储存格体，储存格体由卡扣机构驱动和开口槽体相固定或脱离，储存格体和开口槽体之间还连接有弹升件。本实用新型可以实现将晶圆片准确快速地插入相应的储存格体中，保证晶圆片有序规则的排放。 |
