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一种半导体测试设备

基本信息

申请号 CN202111241677.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113671358B 公开（公告）日 2021-12-21
申请公布号 CN113671358B 申请公布日 2021-12-21
分类号 G01R31/28 分类 测量；测试;
发明人 张新峰;曹吴昊 申请（专利权）人 江苏卓远半导体有限公司
代理机构 合肥市都耒知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 何鑫鑫
地址 226500 江苏省南通市如皋市城南街道电信东一路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种半导体测试设备，包括L形底板，所述L形底板的顶面转动连接有托盘，所述托盘的顶面通过转动轴均匀转动连接有多个齿轮一，所述转动轴的顶端固定连接有限位机构，所述托盘顶面的中部固定连接有吸尘机构，所述顶板的底部固定连接有导轨，所述导轨的内部滑动卡接有与顶板底面固定连接的夹板。本发明中，通过气缸驱动使夹板沿着导轨移动，在夹板上三角形槽的限位作用下使连接柱带着探针设备上下移动测试晶圆，在驱动机构一的作用下使托板转动更换不同的晶圆测试，在驱动机构二的作用下实现晶圆的限位固定，一个气缸实现测试晶圆、固定晶圆、更换晶圆及清洁晶圆，结构简单，提高了晶圆测试的工作效率。