具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202022008258.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213624344U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213624344U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | C23C14/22;C23C14/50 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林卫良 | 申请（专利权）人 | 温岭市华航电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州浙科专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴秉中 |
| 地址 | 317500 浙江省台州市温岭市大溪镇高田村一级公路北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，属于镀膜设备技术领域。它解决了现有真空镀膜机性能差等问题。本具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，包括外机壳，外机壳内具有中空的内腔，内腔中设置有磁控溅射机构以及可横向移动的置放机构，置放机构设置于磁控溅射机构的下部，置放机构与外机壳的底部之间形成有冷却室，冷却室内设置有可上下移动的移动板，移动板上端设有用于置放机构固定以及加快置放机构上废料冷却的凸块结构。本实用新型具有性能稳定的优点。 |
