一种碳化硅外延反应室侧壁部件
基本信息
| 申请号 | CN202022031451.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213624470U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213624470U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | C30B25/08;C30B29/36 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李凯希;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人 | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄斌 |
| 地址 | 361001 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔星路96号建业楼B座一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种碳化硅外延反应室侧壁部件，包括分别安装于碳化硅外延反应室相对两侧壁上且镜像设置的两侧壁挡板，其特征在于：所述侧壁挡板由至少两拼接件沿前后方向拼接而成，每一拼接件的前端和/或后端上具有与相邻拼接件进行拼接的拼接部，且每一侧壁挡板的所有拼接件相互拼接后形成沿前后方向延伸、且连续的内壁面，已解决现有侧壁部件更换成本高的问题。 |
