一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件
基本信息
| 申请号 | CN202022046710.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213624472U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213624472U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | C30B29/36（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李凯希;张泽康;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人 | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人 | 张松亭 |
| 地址 | 361000福建省厦门市翔安区翔星路98号（火炬高新产业园育成中心）强业楼803室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件，由于第一本体和第二本体相嵌合配合，由于淀积生长过程中会产生大量高温的附属物粉尘和颗粒吸附在源气进气过渡部件内，因此，当位于后端的第二本体淀积的粉尘和颗粒较厚时，可仅更换第二本体，使用更加方便且降低了成本；且，由于第一隔板和第二隔板可分别在第一本体和第二本体内活动，可根据实际需要随时调整第一隔板和第二隔板的位置进而调整第一通道和第二通道的流量以使工艺气体在进入反应室时可混合的更加均匀。同时，第一定位组件可定位第一隔板与第一本体，第二定位组件可定位第二隔板和第二本体，稳定性更好，第一隔板和第二隔板不会由于气流的大小进行晃动或移位。 |
