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一种晶体生长装置

基本信息

申请号 CN202021246278.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213327926U 公开（公告）日 2021-06-01
申请公布号 CN213327926U 申请公布日 2021-06-01
分类号 C30B15/20（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B15/14（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 胡治军 申请（专利权）人 安徽中晶光技术股份有限公司
代理机构 南京聚匠知识产权代理有限公司 代理人 卢强
地址 233010安徽省蚌埠市禹会区长征路220号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶体生长装置，包括：外筒体、内筒体和坩埚，外筒体的内侧壁顶部设有台阶，内筒体设于外筒体内，内筒体上方设有斗笠状内罩，斗笠状内罩底部边缘设于外筒体的内侧壁顶部设置的台阶上，坩埚设于内筒体内，斗笠状内罩顶部设有内罩开口，内罩开口内设有籽晶杆，内罩开口顶端设有内罩盖板，籽晶杆顶端与内罩盖板下表面固定连接，籽晶杆底端延伸至坩埚内，坩埚底部外侧壁设有加热电阻丝，坩埚底部与内筒体内部之间形成的空腔内设有S形冷却管，坩埚底部与内筒体内部之间形成的空腔内还填充有保温砂；本方案可以使得晶体生长的温度场四周均衡和稳定，能提高晶体成品率和降低晶体生长成本。