一种硅片清洗烘干装置
基本信息
| 申请号 | CN202121233010.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215299195U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215299195U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张晋美 | 申请（专利权）人 | 四川晶美硅业科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都知集市专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏光武 |
| 地址 | 629000四川省遂宁市创新工业园区明星大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种硅片清洗烘干装置，属于硅片清洗装置领域，该一种硅片清洗烘干装置，包括清洗机构和烘干机构，所述清洗机构包括清洗箱、螺纹杆、固定板、电机和第一水泵，所述清洗箱一端开通，所述螺纹杆两端转动连接在所述清洗箱内壁，所述烘干机构包括支架、电动推杆、盖板和热风机，所述支架固定在所述清洗箱顶面，所述电动推杆固定在所述支架一侧，所述盖板固定在所述电动推杆输出端，所述热风机固定在所述盖板一侧，所述热风机一端连接有风管，所述风管穿透所述盖板表面朝向所述清洗箱内部，该一种硅片清洗烘干装置利用底部循环泵对杂质进行吸附，使得清洗液始终保持较澄清清洗效果好。 |
