一种硅片清洗回收水再利用装置
基本信息
| 申请号 | CN202121237750.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215299196U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215299196U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 龚大成 | 申请（专利权）人 | 四川晶美硅业科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都知集市专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏光武 |
| 地址 | 629000四川省遂宁市创新工业园区明星大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种硅片清洗回收水再利用装置，属于硅片清洗回收技术领域。该装置包括底座和清洗回收机构，所述第一电机与所述伸缩杆传动连接，所述固定盒设置于所述伸缩杆顶部，所述马达输出轴贯穿所述固定盒连接有双向螺杆，所述双向螺杆表面螺栓连接有夹板，所述夹板对称设置有两个，所述收集箱设于所述伸缩杆一侧，所述收集箱顶部设置有连通于所述固定盒的收集管，所述收集箱一侧设置有套管，所述水箱一侧设置有与所述套管活动连接的内管，所述水箱另一侧通过软管连接有水泵，所述水泵通过软管连通有水枪，所述立杆顶部与所述水枪转动连接，所述驱动件与所述水枪传动连接，该装置便于调节硅片冲洗的角度且可收集清洗后的水。 |
