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一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置

基本信息

申请号 CN202120196357.7 申请日 -
公开（公告）号 CN215179767U 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN215179767U 申请公布日 2021-12-14
分类号 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 王忠 申请（专利权）人 上海灏谷集成电路技术有限公司
代理机构 上海汇齐专利代理事务所（普通合伙） 代理人 童强
地址 200000上海市浦东新区川沙路1098号8幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有安装板，所述安装板上转动连接有安装盘，所述安装板内设有安装腔，所述安装腔内设有用于提供安装盘转动所需动力的传动机构，所述安装盘上设有第一安装槽，所述第一安装槽内设有用于固定晶圆本体的夹紧机构，所述底座上固定连接有安装杆，所述安装杆左侧设有气缸，所述气缸的伸缩末端固定连接有连接板，所述连接板上设有检测器，所述安装杆上设有第二安装槽。本实用新型结构合理，其能够适应不同大小的晶圆的检测固定，且能够对晶圆进行全面检测，准确性更高，且检测位置的转换方便，可以提高检测效率。