一种基于红外成像定位法的集成电路修补装置

基本信息

申请号 CN202120196383.X 申请日 -
公开(公告)号 CN214848569U 公开(公告)日 2021-11-23
申请公布号 CN214848569U 申请公布日 2021-11-23
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王忠 申请(专利权)人 上海灏谷集成电路技术有限公司
代理机构 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 代理人 童强
地址 200000上海市浦东新区川沙路1098号8幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于红外成像定位法的集成电路修补装置,包括安装台,所述安装台上固定连接有两块支撑板,所述支撑板上设有第一电动滑轨,两条所述第一电动滑轨上滑动连接有安装杆,所述安装杆上设有第二电动滑轨,所述第二电动滑轨上滑动连接有气缸,所述气缸的伸缩末端固定连接有修补装置本体,所述安装台上固定连接有支撑杆,所述支撑杆上转动连接有安装板,所述安装台上设有用于调节安装板倾斜角度的调节机构,所述安装板内设有安装槽,所述安装槽内设有用于固定电路板的夹紧机构。本实用新型结构合理,其能够进行集成电路板的翻转,从而方便修补装置的修补,同时也大大增加修补装置的修补效率。