一种新型射频离子源
基本信息
| 申请号 | CN201922419071.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210837644U | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN210837644U | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | H01J27/02(2006.01)I;H01J1/94(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 施春燕 | 申请（专利权）人 | 四川至臻精密光学有限公司 |
| 代理机构 | 合肥华利知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州至臻精密光学有限公司 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型射频离子源，具体涉及离子源技术领域，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板。本实用新型通过设置夹持板和吸热座，射频离子源本体固定在夹持板内腔，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，与现有技术相比保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。 |
