一种激光器及其镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202110976322.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113981380A | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN113981380A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/10（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;H01S5/028（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 游顺青;赵军;许海明 | 申请（专利权）人 | 湖北光安伦芯片有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人 | 代婵 |
| 地址 | 436000湖北省鄂州市葛店开发区高新三路光谷联合科技城第C9幢5单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种激光器及其镀膜方法，该激光器包括激光器芯片本体，激光器芯片本体的出光面依次镀有第一SiO2膜层、周期膜、第二SiO2膜层，形成多层高透过膜系，周期膜以相互层叠的SiNx膜层和高折射率SiyO1‑y（0.52是为了中和膜系的整体内应力，SiO2主要以压应力为主，而SiNx和SiyO1‑y膜层以张应力，搭配使用膜系整体内应力最小，较少膜层鼓包和脱膜风险。本发明激光器芯片可以在非气密性环境使用，且性能稳定，可靠性高，使用寿命长。 |
