一种椭偏仪测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202120013648.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216117305U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216117305U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G01N21/21（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I;G01N21/15（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄爽;黎浩;王汉华;许海明 | 申请（专利权）人 | 湖北光安伦芯片有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人 | 代婵 |
| 地址 | 436000湖北省鄂州市葛店开发区高新三路光谷联合科技城第C9幢5单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种椭偏仪测量装置，包括平面二维机械移动平台以及用于固定样品的样品台，所述平面二维机械移动平台固定在椭偏仪的底座上，所述样品台通过支座支撑在平面二维机械移动平台上，通过平面二维机械移动平台带动支座上的样品台沿平面移动。本实用新型采用平面二维机械移动平台代替镊子移动晶片，减少测量过程中人为移动晶片的次数，减少晶片表面破损与污染，提高良率，且其结构简单，在生产制造过程中便于操作。 |
