高Q值氮化铝lamb波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202022703114.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213460044U | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN213460044U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | H01P7/10;H01P1/207 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高安明;姜伟;刘伟 | 申请（专利权）人 | 浙江信唐智芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 李佳俊;郭国中 |
| 地址 | 325038 浙江省温州市浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室（自主申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种高Q值氮化铝lamb波谐振器，包括：电极、薄膜(2)；所述电极包括：叉指电极(1)、底电极(3)；所述叉指电极(1)的一端接入RF信号；所述叉指电极(1)的另一端与地相连；所述底电极(3)采用电性浮接；所述薄膜(2)设置于叉指电极(1)、底电极(3)之间。本实用新型通过采用压电薄膜，解决了其他常规压电薄膜很难与半导体工艺兼容、介电常数过高、机械品质因数低等问题。这使得本专利所提出的谐振器在高灵敏度智能传感器的应用中能发挥更加优越的性能。 |
