一种用于真空气相沉积炉的温度检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202020971480.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212779645U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212779645U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | G01K13/00(2021.01)I;G01K1/14(2021.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨开平;黄军;彭剑捷 | 申请（专利权）人 | 四川巴顿航空设备制造有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁孝涛 |
| 地址 | 610000四川省成都市彭州市丽春镇白鹤社区四组 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空气相沉积炉的温度检测装置，包括供气箱，所述供气箱的一侧安装有计量箱，所述计量箱远离供气箱的一侧安装有电源箱，所述电源箱与计量箱和供气箱的顶端安装有隔板，所述隔板的顶端安装有托板，所述托板的顶端两侧均安装有支架，所述托板的顶端安装有测温箱与管式炉，两组所述支架之间安装有高温反应管，且高温反应管贯穿安装于测温箱与管式炉的内部，且管式炉位于测温箱的一侧，所述高温反应管的一端安装有阀门；所述隔板的内部安装有弹簧，所述隔板的一侧安装有工作台，所述工作台的底端安装有斜杆；本实用新型具能够提供设备的机动性和稳定性，增加了操作空间，提高了实用性。 |
