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一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统

基本信息

申请号	CN201010208947.3	申请日	-
公开（公告）号	CN102296273B	公开（公告）日	2013-06-05
申请公布号	CN102296273B	申请公布日	2013-06-05
分类号	C23C14/35(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	魏庆瑄;李惠	申请（专利权）人	马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司
代理机构	上海衡方知识产权代理有限公司	代理人	上海子创镀膜技术有限公司;马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司
地址	201617 上海市松江区石湖荡镇唐明路277号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动端头，其包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11)，其中，驱动齿轮(30)为锥齿轮，设置在驱动轴(3)下端，从动齿轮(31)也为锥形齿轮，两者通过锥齿轮传动方式进行传动，聚甲醛基座(1)与驱动头壳体(2)，电刷接线柱(6)相接处采用静密封(7)结构密封，与驱动轴(3)相接处采用动密封(8)结构密封，另外，轴套(4)与前、后端盖(10、11)相接处采用双道动密封(8)结构密封，本发明的技术效果是镀膜效率高，驱动系统寿命长。