一种新型的多段工艺供气集成装置
基本信息
| 申请号 | CN201120059925.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202047130U | 公开（公告）日 | 2011-11-23 |
| 申请公布号 | CN202047130U | 申请公布日 | 2011-11-23 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 靳伟;李惠;李跃华 | 申请（专利权）人 | 马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司 |
| 代理机构 | 上海衡方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海子创镀膜技术有限公司;马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司 |
| 地址 | 201617 上海市松江区石湖荡镇唐明路277号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及到覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆的供气系统,尤其涉及到多段供气集成系统和向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法，其技术方案是提供一种新型的多段工艺供气集成装置，包括电磁阀、电磁阀板、通道管，其中，电磁阀固定设置在电磁阀板的上部，以管螺纹与电磁阀板密封连接，通道管设置在电磁阀板内，所述电磁阀板的侧面设有入气口，与入气口侧面相交的另一侧面设有出气口。 |
