一种冷却挡板装置
基本信息
| 申请号 | CN201120023560.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201999987U | 公开（公告）日 | 2011-10-05 |
| 申请公布号 | CN201999987U | 申请公布日 | 2011-10-05 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张俊峰;李桂良 | 申请（专利权）人 | 马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司 |
| 代理机构 | 上海衡方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海子创镀膜技术有限公司;马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司 |
| 地址 | 201617 上海市松江区石湖荡镇唐明路277号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及到一种镀膜溅射冷却系统装置,尤其涉及到一种冷却挡板装置。其包括框架、连接板、支撑件、多排水管、冷却挡板水头压板、托架、KF法兰，其中，所述多排水管采用U型结构排布，其极大提高了冷却效果和镀膜质量，增强了各配件的使用寿命，减少了各零部件的更换维修次数。 |
