一种毫米波雷达芯片端面解理钝化装置

基本信息

申请号 CN202022253738.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213071089U 公开(公告)日 2021-04-27
申请公布号 CN213071089U 申请公布日 2021-04-27
分类号 H01L21/683;H01L21/677 分类 基本电气元件;
发明人 姜兆瑞;林晓宇;郭雯 申请(专利权)人 联暻半导体(山东)有限公司
代理机构 汉中市铭源专利代理事务所(普通合伙) 代理人 杨悦
地址 250014 山东省济南市中国(山东)自由贸易试验区济南片区经十路汉峪金谷人工智能大厦21层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种毫米波雷达芯片端面解理钝化装置,包括底座,所述第一安装板左侧壁上设有电机,所述电机输出端固定连接有往复丝杠,所述往复丝杠上螺纹连接有往复丝杠套,所述往复丝杠套上固定连接有固定块,所述固定块上贯穿固定连接有滑动套,所述滑动板底面上固定连接有滑动杆,所述滑动板上固定连接有钢丝绳,所述滑动杆底部设有电磁吸盘,所述底座上设有钝化反应装置。本实用新型启动电磁吸盘对底座上的芯片进行吸附,然后启动电机,使得滑动套左右运动,当滑动套向右运动时,当往复丝杠套运动至钝化反应装置上方时,此时电磁吸盘吸附芯片运动至钝化反应装置上方,然后关闭电磁吸盘,使得芯片放置钝化反应装置上。