一种用于高可靠度芯片制造中抽检装置
基本信息
| 申请号 | CN202022338747.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213240424U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213240424U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李敏霞;张珂珂;曲传悟 | 申请（专利权）人 | 联暻半导体（山东）有限公司 |
| 代理机构 | 汉中市铭源专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨悦 |
| 地址 | 250014 山东省济南市中国（山东）自由贸易试验区济南片区经十路汉峪金谷人工智能大厦21层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于高可靠度芯片制造中抽检装置，包括检测平台和伸缩气缸，所述检测平台内对称开设有两个安装腔，每个所述安装腔内均横向转动连接有转动杆，两个所述转动杆相对的一端均转动连接在安装腔的内壁上，两个所述转动杆相背的一端均贯穿检测平台的侧壁并固定安装有旋转把手，所述转动杆转动连接在检测平台的侧壁内，所述转动杆上对称固定安装有两个螺纹套，每个所述螺纹套上均螺纹连接有螺纹块，每个所述螺纹块的上端均固定安装有夹板，所述检测平台的上端面对称开设有两个与夹板相匹配的滑孔。本实用新型，可以同时对两个芯片本体进行检测，检测效率高。 |
