低介电损耗负性光敏聚酰胺酸酯树脂、树脂组合物、其制备方法及应用
基本信息
| 申请号 | CN201910288615.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110028670A | 公开（公告）日 | 2019-07-19 |
| 申请公布号 | CN110028670A | 申请公布日 | 2019-07-19 |
| 分类号 | C08G73/12;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/16 | 分类 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物; |
| 发明人 | 陈兴;刘洋 | 申请（专利权）人 | 明士新材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南信达专利事务所有限公司 | 代理人 | 明士新材料有限公司 |
| 地址 | 250204 山东省济南市章丘市刁镇化工工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种低介电损耗负性光敏聚酰胺酸酯树脂、树脂组合物、其制备方法及应用，属于功能高分子材料领域。所述低介电损耗负性光敏聚酰胺酸酯树脂由总二酐、不饱和双键醇类、总二胺和分子量调节剂制备而成，所述总二酐由含氟芳香族二酐与非含氟芳香族二酐组成；所述总二胺由含氟芳香族二胺与非含氟芳香族二胺组成。包括该低介电损耗负性光敏聚酰胺酸酯树脂的树脂组合物经曝光、显影、热固化后，得到的聚酰亚胺薄膜具有低介电常数、低介电损耗、低吸水率与优良的热稳定性等优点，在半导体制造领域具有良好的应用前景。 |
