靶材的加热管装置
基本信息
| 申请号 | CN202121219039.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215734873U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215734873U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | H05B3/02（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 曾墩风;曾探;王振宏 | 申请（专利权）人 | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨静 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型的目的是提供一种靶材的加热管装置，通过设置圆杆形的加热芯作为加热源，加热芯横向均匀分布穿过法兰盘来设置环形排列在加热芯周围的丝杆，将圆形靶材从最左侧的法兰盘的导向边导向套在所有的法兰盘上，法兰盘外端凸出在丝杠外形成的凸环用于固定住靶材，加热芯通过连接线连接接电的连接头进行通电加热，并且连接腔表面分布散热孔进行散热，这样可以均匀的对圆形靶材进行加热，操作方便，适用于生产中。 |
