封装键合铂金丝及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202110544075.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113241303A | 公开(公告)日 | 2021-08-10 |
申请公布号 | CN113241303A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
分类号 | H01L21/48(2006.01)I;H01L23/49(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C22C5/04(2006.01)I;C22F1/14(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 黄崧哲;侯子宾;徐锦旭 | 申请(专利权)人 | 合肥矽格玛应用材料有限公司 |
代理机构 | 安徽申策知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 程艳梅 |
地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园3栋F区1楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及芯片封装技术领域,且公开了封装键合铂金丝及其制备方法,包括以下步骤:S1、将铂金属与铍、钙、铈、镧等微量元素投入真空熔铸炉,经过高温熔铸,得到特定直径的铂金属棒;S2、铂金属棒再经过多组模具进行拉伸,此拉伸过程中在某一线径进行中间退火;S3、中间退火的线材再次拉伸至半成品线材;通过铂金属代替传统的键合丝中的金和银金属,从而大大降低了键合丝的生产制造成本,从而间接的减低了芯片生产制造的成本,铂金属棒在通过模具拉绳的过程中,在某一线径的时候进行中间退火,然后再次被拉伸成半成品线材,半成品线材经过退火,机械性能检测合格后,包装成成品线材,从而可以使线材焊线的键合强度大大提升。 |
