一种新型的白光干涉仪结构
基本信息
| 申请号 | CN202210286658.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114593690A | 公开（公告）日 | 2022-06-07 |
| 申请公布号 | CN114593690A | 申请公布日 | 2022-06-07 |
| 分类号 | G01B11/24;G01B9/0209;G01B9/02015 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 衣俊全;袁芬芳;周翔 | 申请（专利权）人 | 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京惟盛达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈钊 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区联合路13-1号1号厂房101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种新型的白光干涉仪结构，包括第一驱动平台，在所述第一驱动平台上设置有白光发生单元、分束单元、信号采集单元，在第一驱动平台上还设置有反射单元，反射单元设置在分束单元后端，在第一驱动平台还设置有第二驱动平台，第二驱动平台设置有第一物镜、第二物镜以及参考镜，第一物镜和第二物镜平行设置，第一物镜上端与分束单元对应布置，第二物镜上端与反射单元对应布置，第二物镜下端与参考镜对应布置，待测物品设置在第一物镜下端。扫描时只需移动第二驱动平台即可进行待测物品高度方向上的测量，减轻了扫描系统的承重，解决了高精度扫描场合，负载过重问题，拓宽扫描系统的选择范围，拥有更高扫描精度的同时降低生产成本。 |
