一种自动扩晶工作台

基本信息

申请号 CN202220762561.5 申请日 -
公开(公告)号 CN216928513U 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN216928513U 申请公布日 2022-07-08
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈洁;陈鸣;吴晓辉 申请(专利权)人 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
代理机构 北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 518000广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区联合路13-1号1号厂房101
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于扩晶装置技术领域,具体涉及一种自动扩晶工作台,包括扩膜板以及用于夹压蓝膜的左晶圆压板和右晶圆压板,左、右晶圆压板之间存在一径向设置的供晶圆上料机械手水平通过的一对缺口,其中一个缺口为进料缺口,晶圆压板通过压板支撑组件固定在压膜板垫块上,压膜板垫块设置在晶圆顶板的圆环上,晶圆顶板设置在晶圆工作台底板上的扩膜板固定件上方;所述圆环上设置有与进料缺口对应的扣板,所述压膜板垫块上设置有与扣板对应的扣板槽,所述扩膜板固定件上设置有与扣板对应的推柱组件,所述圆环上设置有与推柱组件对应的推柱槽,晶圆顶板下降时,推柱组件上端抵接扣板。通过扣板对进料缺口提供支撑力,提高了扩晶良率。