晶粒分选装置
基本信息
| 申请号 | CN202210255708.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114649241A | 公开（公告）日 | 2022-06-21 |
| 申请公布号 | CN114649241A | 申请公布日 | 2022-06-21 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈洁;丁晓华;岳鑫;陈鸣 | 申请（专利权）人 | 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区联合路13-1号1号厂房101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种晶粒分选装置，包括上料组件、夹取组件、晶圆台组件、顶针组件、翻转组件、检测组件、转塔组件及收料组件，上料组件获取晶圆盒，晶圆盒中装载有多片晶圆，夹取组件将晶圆盒中的多片晶圆分别夹取至晶圆台组件，晶圆台组件对晶圆进行扩膜，顶针组件顶起扩膜后的晶圆上的晶粒，翻转组件吸取晶粒，检测组件包括第一检测相机，第一检测相机用于检测晶粒的第一面，翻转组件将晶粒的第一面旋转并对准转塔组件，以使得转塔组件吸取晶粒的第一面，检测组件还包括多个检测相机，分别对晶粒的多个面进行检测，转塔组件将检测合格的晶粒旋转至收料组件进行收料。 |
