一种用于晶片干涉检验的光源装置
基本信息
| 申请号 | CN202120053280.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214149183U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214149183U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | G01B11/30（2006.01）I;G01N21/59（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I;F21V21/14（2006.01）I;F21V9/00（2018.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王登锋;陈时兴 | 申请（专利权）人 | 嘉兴海盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 杭州凌通知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李仁义 |
| 地址 | 314022浙江省嘉兴市余新镇新盛路262号（嘉兴百盛光电有限公司1幢1－2层） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于晶片干涉检验的光源装置，包括座体和灯罩组件，所述灯罩组件包括罩体，所述罩体通过其一侧铰接在所述座体的上面，支撑杆组件，所述支撑杆组件定位在所述罩体与所述座体之间，低压钠灯，所述低压钠灯设置在所述罩体内，滤光玻璃板，所述滤光玻璃板设置在所述罩体的开口处，通过罩体和座体铰接，并将低压钠灯置于罩体内，工作人员可以通过手动改变罩体的角度来改变钠灯对晶片产品的照射角度，滑动插入式的滤光玻璃板可以快速取下和安装，且座体上可以放置多个晶片产品，大大提高了对晶片产品的检测效率。 |
