一种石墨烯薄膜的制备方法及含有石墨烯薄膜的装置
基本信息
| 申请号 | CN201810663151.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110629188A | 公开（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申请公布号 | CN110629188A | 申请公布日 | 2019-12-31 |
| 分类号 | C23C16/26（2006.01）; C23C16/04（2006.01）; C23C16/513（2006.01）; C01B32/186（2017.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 田小让; 何延如; 赵冠超; 李立伟; 孟原; 郭铁 | 申请（专利权）人 | 新奥光伏能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄志华 |
| 地址 | 065001 河北省廊坊市廊坊经济技术开发区华祥路106号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种石墨烯薄膜的制备方法及含有石墨烯薄膜的装置，该制备方法包括：在金属基底上形成钝化层；在钝化层上形成孔洞，使得通过孔洞漏出金属基底；在露出金属基底的孔洞上形成石墨烯薄膜，并且石墨烯薄膜覆盖钝化层。通过在金属基底表面覆盖一层钝化层，然后在钝化层上形成孔洞，实现了对金属基底的选择性钝化处理，使得金属基底具有催化能力的区域面积和数量可控，从而使得石墨烯薄膜的生长速度可控。 |
