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一种太阳能电池及其氢化非晶硅i膜层表面处理方法

基本信息

申请号 CN201710641527.6 申请日 -
公开（公告）号 CN107425087B 公开（公告）日 2019-09-03
申请公布号 CN107425087B 申请公布日 2019-09-03
分类号 H01L31/0747;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 谷士斌;何延如;张林;张娟;徐湛;杨荣;李立伟;孟原;郭铁 申请（专利权）人 新奥光伏能源有限公司
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 代理人 黄志华
地址 065001 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅异质结太阳能电池及其氢化非晶硅i膜层表面处理方法，采用氢氩混合或者氢氦混合气体对氢化非晶硅i膜层表面进行等离子体处理，既可以通过氩或者氦等离子体以物理方式对氢化非晶硅i膜层表面进行较优的清洗，还能够促进氢等离子体数量的增加，从而增强对氢化非晶硅i膜层表面的钝化和清洗效果；同时，氩或者氦等离子体物理轰击过程中会对氢化非晶硅i膜层表面产生轻微的损伤，氢等离子体不仅对氢化非晶硅i膜层表面起到钝化作用，还可修复此轻微损伤。氢氩混合或者氢氦混合等离子体协同作用，可对氢化非晶硅i膜层表面起到较优的钝化和清洗作用，从而提升电池性能。