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一种适用于等离子体装置的集尘罩

基本信息

申请号 CN201921841226.9 申请日 -
公开（公告）号 CN210847592U 公开（公告）日 2020-06-26
申请公布号 CN210847592U 申请公布日 2020-06-26
分类号 B08B15/02(2006.01)I 分类 -
发明人 于蓥;李青;高地 申请（专利权）人 辽宁中晟华清科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 110000辽宁省沈阳市和平区中华路65-1号（1522）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种适用于等离子体装置的集尘罩，用于收集等离子体装置在真空室门开启时排出的固体微粒，属于机械技术领域。包括罩体、挡板1、挡板2、挡板锁紧旋钮、抽吸接口和安装支架。所述挡板1、挡板2两端分别以螺纹连接的形式与罩体两侧内端面相连，挡板1、挡板2与所述罩体、共同构成集尘罩的抽吸空间，所述挡板锁紧旋钮用于调节并固定挡板1、挡板2的角度。本实用新型机构通过所述安装支架与真空室相连，根据真空室门开合时的不同排气特性，用所述挡板锁紧旋钮调节两块活动挡板的角度达到最佳颗粒收集效果，并通过所述抽吸接口将集尘罩与抽吸设备相连接，使等离子体装置在真空室门开启时排出的高热固体微粒得到有效的净化处理。