一种光罩专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种光罩

基本信息

申请号	CN202023309034.9	申请日	-
公开（公告）号	CN213934537U	公开（公告）日	2021-08-10
申请公布号	CN213934537U	申请公布日	2021-08-10
分类号	G03F1/38（2012.01）I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	杨鹏;陈胜;江勇;顾浩宇	申请（专利权）人	苏州科阳半导体有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬
地址	215143江苏省苏州市苏州相城经济技术开发区漕湖产业园方桥路568号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种光罩，用于在刻蚀槽处光刻形成金属重布线，刻蚀槽包括处于槽顶部的上拐角和处于槽底部的下拐角，刻蚀槽沿水平面上的第一方向延伸。光罩包括透明基板和阻光图形。阻光图形设置在透明基板上，阻光图形能够阻挡激光束或紫外光穿过透明基板，阻光图形包括沿水平面上第二方向延伸的第一阻光区，第一方向与第二方向相垂直，第一阻光区上设有加宽部和内凹部，加宽部凸设在第一阻光区的边缘处，内凹部凹设在第一阻光区的边缘处，且加宽部在刻蚀槽上的投影在上拐角处，内凹部在刻蚀槽上的投影在下拐角处。本实用新型降低了重布线在刻蚀槽处发生短路或断路的可能性，保证了重布线的功能，提高了产品的合格率。