于蓝宝石衬底表面制作纳米球的方法
基本信息
| 申请号 | CN201110157416.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102299055A | 公开（公告）日 | 2011-12-28 |
| 申请公布号 | CN102299055A | 申请公布日 | 2011-12-28 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈达军 | 申请（专利权）人 | 徐州协鑫光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 协鑫光电科技（张家港）有限公司;徐州协鑫光电科技有限公司 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种于蓝宝石衬底表面制作纳米球的方法，是取一个蓝宝石衬底并在表面配置一个金属薄层；将蓝宝石衬底与金属薄层的组合加热，使得金属薄层的温度接近自身的熔点；藉表面张力的作用，使金属薄层得以破裂，进而每一个金属裂块收缩形成金属纳米球，且分布于蓝宝石衬底上形成金属掩膜。其次也可以在金属薄层与蓝宝石衬底之间再配置一个二氧化硅薄层。由于金属掩膜的形成是利用加热及自身的表面张力作用，因此制作成本低，此外金属掩膜上具有微小的图形，有助将蓝宝石衬底表面蚀刻成具有纳米尺寸的凹凸图形。 |
