一种生长单晶用籽晶杆及包括该籽晶杆的生长单晶设备
基本信息
| 申请号 | CN201220027870.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202530196U | 公开（公告）日 | 2012-11-14 |
| 申请公布号 | CN202530196U | 申请公布日 | 2012-11-14 |
| 分类号 | C30B15/32(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 郑伟 | 申请（专利权）人 | 徐州协鑫光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐州协鑫光电科技有限公司 |
| 地址 | 221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于生长单晶用籽晶杆，其包括管体，该管体有内管(7、9)及外管(8、10)构成，上述内管及外管之间隔开一定距离；安装在上述管体顶端的旋转接头(12)，该旋转头(12)上设有冷却气体入口(1)及冷却气体出口(2)；设置在上述旋转头(12)的下方的转动件(13)、称重传感器(14)及外围护套(6)；其中，该转动件(13)与连接在上述管体上的旋转驱动器(5)相互配合以实现籽晶杆的旋转；该外围护套(6)罩在上述外管(8、10)外侧，该外围护套(6)上分别设有冷却液入口(3)及冷却液出口(4)；上述管体的末端开设有卡槽(11)；并且，所述籽晶杆整体密封设置。 |
