首页/ 徐州协鑫光电科技有限公司/ 专利详情

导模法同步生长多条晶体的热场及方法

基本信息

申请号 CN201210008917.7 申请日 -
公开（公告）号 CN102560630A 公开（公告）日 2012-07-11
申请公布号 CN102560630A 申请公布日 2012-07-11
分类号 C30B15/24(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 罗平;孟智勇;郑伟 申请（专利权）人 徐州协鑫光电科技有限公司
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 许静;赵爱军
地址 221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种导模法同步生长多条晶体的热场，其包括加热保温装置、坩埚和籽晶夹头装置，加热保温装置包括发热体；坩埚具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁；发热体为使坩埚的内部与其第一侧壁、第二侧壁等距的位置处温度相等的结构；坩埚内设置有并排式模具，并排式模具包括多个模具片，每一模具片到坩埚的第一侧壁、第二侧壁的距离相等，且每一模具片的上表面均与所要生长的晶体的截面尺寸、形状相同；并排式模具的上方设置籽晶，籽晶底部具有一可与每一模具片的上表面同时接触的熔接面。本发明还提供一种采用上述热场通过导模法同步生长多条晶体的方法。本发明的热场可同步生长出晶向一致、径向温度梯度均匀的多条晶体。