一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备
基本信息
| 申请号 | CN201921459399.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210826345U | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN210826345U | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/511(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 蔡茜;付斗才 | 申请（专利权）人 | 四川蓝手科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都为知盾专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 成都道启弘环境科技有限公司;四川蓝手科技有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市武侯区天仁路259号1栋7层719号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其中主要由微波发生器、微波发射喇叭、工艺进气管、微波屏蔽层、旋转托盘、水冷系统、真空系统和镀膜壳体组成，其中镀膜壳体是具有密封性能的腔体。工作时，工艺气通过进气管进入微波发射喇叭，利用微波将工艺气进行裂解并等离子化，经过裂解等离子化后碳原子作为镀金刚石薄膜的碳源材料。本实用新型是通过改变微波频率和工艺气介质，实现SP2和SP3型纳米金刚石镀膜。采用微波镀膜效率显著，所镀纳米金刚石薄膜厚度均匀，表面光滑平整，且不易损坏待镀膜基材，在各种工业领域有着十分广阔的应用前景。 |
