一种在同一衬底上实现蓝绿光加红光荧光粉的发光LED

基本信息

申请号 CN201710048199.9 申请日 -
公开(公告)号 CN106684228B 公开(公告)日 2019-12-17
申请公布号 CN106684228B 申请公布日 2019-12-17
分类号 H01L33/48(2010.01); H01L33/50(2010.01); H01L33/62(2010.01) 分类 基本电气元件;
发明人 丁磊; 彭友; 陈龙 申请(专利权)人 安徽连达光电科技有限公司
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 安徽连达光电科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市高新区黄山路626号高新集团大楼426室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种在同一衬底上实现蓝绿光加红光荧光粉的发光LED,其包括以下步骤:将磊晶衬底粗化,涂上一层大于10μm耐高温的光刻胶;将事先做好的蓝光镂空光罩板放置在光刻胶上,将曝光部分去除掉;将光刻后的衬底进行磊晶生长,蓝光磊晶完成后,再二次涂布一层光刻胶,将事先做好的绿色镂空光罩板放置在光刻胶上,将曝光部分去除掉;将光刻后的衬底放到绿光外延炉里磊晶生长,最后通过蒸镀、电极制作、测试工艺将蓝绿晶片作为一体进行裂片,得到统一衬底的蓝绿光晶片。本发明通过在同一衬底通过磊晶生长出超窄波长(50nm以下)的蓝光、绿光晶片,搭配超窄波长的红色荧光粉便可产出色域可以超出100%标准NTSC的广色域LED。