一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置

基本信息

申请号 CN201821522953.4 申请日 -
公开(公告)号 CN208917336U 公开(公告)日 2019-05-31
申请公布号 CN208917336U 申请公布日 2019-05-31
分类号 C30B13/14;C30B13/16;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 董朝龙;熊达;雷杰;漆龙武;喻炜;雷琦;张泽兴;黄林 申请(专利权)人 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
代理机构 南昌新天下专利商标代理有限公司 代理人 谢德珍
地址 332000 江西省九江市经济开发区出口加工区外锦绣大道
法律状态 -

摘要

摘要 一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置,包括置于热场保温板内侧的DS块支撑平台,所述DS块支撑平台下端设有支撑脚,DS块支撑平台上端设有石英坩埚,石英坩埚内设有硅碇,石英坩埚外侧四周设有坩埚护板,坩埚护板外侧四周设有4块侧部加热器,所述的4块侧部加热器相互之间经4个转角连接器连接,所述的4个侧部加热器经3个吊臂加热板分别与铜电极接头连接。本实用新型能够抑制晶体形核初期晶种的相变,保证晶体的各向同性生长,改善铸造单晶硅锭存在的孪晶比例大、位错密度大、单晶面积不足等缺陷,从而提高铸造单晶的晶体质量,提高硅片光电转换效率。