首页/ 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司/ 专利详情

一种用于硅片研磨的工装夹具

基本信息

申请号 CN201821523027.9 申请日 -
公开（公告）号 CN208913853U 公开（公告）日 2019-05-31
申请公布号 CN208913853U 申请公布日 2019-05-31
分类号 B24B37/27 分类 磨削；抛光;
发明人 罗文斌 申请（专利权）人 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
代理机构 南昌新天下专利商标代理有限公司 代理人 谢德珍
地址 332000 江西省九江市经济开发区出口加工区外锦绣大道
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于硅片研磨的工装夹具，包括底板、压板、环压板，所述底板的底部端面上设有限位凸台，限位凸台上还镶嵌有耐磨块，所述底板上端位于相邻的2个侧边上固定有侧板，侧板上均匀设有多个腰型孔，侧板的上端固定有与底板平行的顶板，所述顶板的四周活动套装有多根钢柱，钢柱垂直贯穿顶板，钢柱的上端均固定在环压板的底部，钢柱的下端均固定在压板的上端，环压板和压板之间经过多根钢柱固定连接，所述顶板上端还固定有输出端向下的气缸，气缸的输出端与压板固定连接。本实用新型通过使用气缸替代大螺杆，传动更精准平稳，并且省时省力，从而减轻劳动强度提高作业效率。