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一种高效多晶硅锭铸炉的加热器及热场结构

基本信息

申请号 CN201821522960.4 申请日 -
公开（公告）号 CN209082034U 公开（公告）日 2019-07-09
申请公布号 CN209082034U 申请公布日 2019-07-09
分类号 C30B28/06;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 毛伟;刘世龙;洪炳华;雷琦;张泽兴;赖昌权;黄林 申请（专利权）人 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
代理机构 南昌新天下专利商标代理有限公司 代理人 谢德珍
地址 332000 江西省九江市经济开发区出口加工区外锦绣大道
法律状态 -

摘要

摘要 一种高效多晶硅锭铸炉的加热器及热场结构，包括置于隔热笼内侧的侧部保温板，所述侧部保温板的内侧四周设有侧部加热器，侧部保温板的内侧上端设有顶部加热器，侧部保温板内还设有DS块，侧部保温板的底部设有下底部保温板，下底部保温板的上端设有上底部保温板，所述上底部保温板的上端面上的4个角部均设有底部保温条，所述侧部加热器包括4个侧面上的侧面加热板和4个角部“U”型加热板。本实用新型的侧部加热器上的4个角上增加一块“U”型加热板，使得角部导热量增加，单相侧部功率增加12%，侧部加热器对硅锭的热辐射更加均匀，弥补热场内角部供热不足的缺陷。