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一种多晶硅铸锭用的底部保温装置

基本信息

申请号 CN201822145361.1 申请日 -
公开（公告）号 CN209368385U 公开（公告）日 2019-09-10
申请公布号 CN209368385U 申请公布日 2019-09-10
分类号 C30B28/06（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 姚晨; 雷琦; 刘世龙; 张泽兴; 赖昌权; 黄林 申请（专利权）人 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
代理机构 南昌新天下专利商标代理有限公司 代理人 谢德珍
地址 332000 江西省九江市经济开发区出口加工区外锦绣大道
法律状态 -

摘要

摘要 一种多晶硅铸锭用的底部保温装置，包括固定在隔热笼底部的底部保温板，所述底部保温板包括第一底部保温板，第一底部保温板的下端设有第二底部保温板，第一底部保温板层叠置于第二底部保温板上端面的中间位置，所述第一底部保温板的上端面上的中心位置设有凹槽。该装置使多晶硅锭在长晶期间的垂直温度梯度得到显著提高，增加了硅锭中心区域的长晶速率，从而使长晶界面变平或者微凸，减少了硅锭边部区域的晶体缺陷，同时可以增加硅锭的长晶速率，提高了生产效率。