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一种片式氧传感器的制备方法

基本信息

申请号 CN201410815085.9 申请日 -
公开（公告）号 CN104569108B 公开（公告）日 2017-03-29
申请公布号 CN104569108B 申请公布日 2017-03-29
分类号 G01N27/409(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 朱捷;肖建中 申请（专利权）人 苏州圣赛诺尔传感技术有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴;胡秋婵
地址 215331 江苏省苏州市工业园区娄葑东旺路45号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种片式氧传感器的制备方法，其包括以下步骤，制作氧化锆传感器基体，在其上下两面印刷外电极Pt和内电极Pt后再在外电极上印刷多孔保护层后烘干、烧结；用氧化铝粉末和氧化硅或氧化镁粉末混合制作参比基体并在参比基体上制作作为空气通道的凹腔后烧结；在参比基体的底面印刷钨电阻浆料，然后在加热电极的表面印刷氧化铝浆料，然后经过烘干、烧结；最后将敏感层覆盖在参比基体上面，并在敏感层和参比基体之间涂覆高温陶瓷釉料后烧结。本发明提供的片式氧传感器的制备方法简化了片式氧传感器的结构，降低了生产成本，而且也提高了加热电极和敏感层之间的绝缘性能，进而提高了片式氧传感器的性能。