一种片式传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410816553.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104569106B | 公开（公告）日 | 2017-12-01 |
| 申请公布号 | CN104569106B | 申请公布日 | 2017-12-01 |
| 分类号 | G01N27/407(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 朱捷;肖建中 | 申请（专利权）人 | 苏州圣赛诺尔传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 范晴;胡秋婵 |
| 地址 | 215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种片式传感器及其制备方法，其中制备方法上通过在加热层和敏感层之间设置至少三种过渡层且各过渡层中氧化锆粉末和氧化铝粉末的含量自上而下逐渐减少呈梯度分布。本发明提供的片式传感器的制备方法能够提高加热层和敏感层之间的结合力同时增加它们之间的绝缘性能，还能防止出现因为各功能层因为膨胀系数差异导致传感器断裂的问题，从而提高片式传感器的性能和使用寿命。 |
