一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置
基本信息
| 申请号 | CN202022988667.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214588790U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214588790U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王恩平;李志聪;王国宏;戴俊 | 申请（专利权）人 | 扬州中科半导体照明有限公司 |
| 代理机构 | 扬州云洋知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高斯博 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市临江路186号1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了半导体制造领域内的，特别涉及一种自动修正的Micro‑LED巨量转移装置。该自动修正的Micro‑LED巨量转移装置，包括弹性薄膜，其上设置有微器件；间距扩张装置，其位于弹性薄膜的一侧，该间距扩张装置包括一置放弹性薄膜的扩张平台；转移装置，其对着间距扩张装置；以及间距修正装置，其内嵌于扩张平台，包括一矩形修正台，该修正台可相对于扩张平台升降。本实用新型能够修正微器件间距误差，实现微器件间距调整。 |
