一种感光性树脂组合物及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201910805266.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110515271B | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN110515271B | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | G03F7/027（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 朱高华;李伟杰;周光大 | 申请（专利权）人 | 浙江福斯特新材料研究院有限公司 |
| 代理机构 | 浙江千克知识产权代理有限公司 | 代理人 | 裴金华 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市临安区锦北街道福斯特街8号1幢212 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种感光性树脂组合物及其应用。本发明的树脂组合物包括40‑70重量份的碱可溶性树脂、20‑50重量份的光聚合单体、0.5‑10.0重量份光引发剂和0.1‑10.0重量份添加剂；所述光聚合单体包括0.5‑15.0重量份的含有碳酸酯结构的单体。该感光性树脂组合物用作干膜抗蚀剂，具有退膜易断裂、退膜碎片较小、退膜速度快等特性，同时线路分辨率、附着力良好，从而有效地提高生产效率和产品良率。 |
