光固化封装组合物、封装结构及半导体器件

基本信息

申请号 CN201911275752.8 申请日 -
公开(公告)号 CN110894361B 公开(公告)日 2022-02-25
申请公布号 CN110894361B 申请公布日 2022-02-25
分类号 C08L83/04(2006.01)I;C08G77/14(2006.01)I;C08G77/06(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I 分类 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物;
发明人 王士昊;洪海兵;杨楚峰 申请(专利权)人 浙江福斯特新材料研究院有限公司
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 梁文惠
地址 311305浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路1235号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种光固化封装组合物、封装结构及半导体器件。包括可光固化含硅单体、可光固化含环氧烷基稀释剂和光引发剂,可光固化含硅单体具有如下结构式:其中,n是0到50的任意一个整数,X1、X2、X3、X4、X5、X6中的至少一个是取代或未经取代的C6到C50的芳基、取代或未取代的C7到C50的芳烷基中的任意一种,由于采用具有上述结构式I的可固化含硅单体作为聚合的单体,由于其中包含的苯环和环氧基团,在将其与可固化含环氧烷基稀释剂进行配合时,所形成的聚合物薄膜具有更高的光透过率、更高的固化速度、更低的等离子体刻蚀速率,从而更好地满足了现有技术中封装薄膜的要求。