麦克风传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610696309.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107770706B | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN107770706B | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | H04R19/04;H04R31/00 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 韩凤芹;刘孟彬;毛剑宏 | 申请（专利权）人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司;海门天眼光电科技有限公司 |
| 地址 | 226133 江苏省南通市海门市临江镇洞庭湖路100号A2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种麦克风传感器及其制备方法，通过将所述第一基底和第二基底进行键合形成空腔，然后在所述第二基底背离所述第一基底的一面形成背面开口，所述背面开口与所述声学孔导通，以实现MEMS结构的形成，所述麦克风传感器可以在现有的晶圆厂可以完成，无需特殊的仪器及材料，制备方法简单，降低了制备成本。 |
