麦克风传感器及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201610443922.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107529120B | 公开(公告)日 | 2019-10-25 |
申请公布号 | CN107529120B | 申请公布日 | 2019-10-25 |
分类号 | H04R19/04;H04R31/00 | 分类 | 电通信技术; |
发明人 | 刘孟彬;毛剑宏 | 申请(专利权)人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明的麦克风传感器及其制备方法,包括:提供半导体衬底,在半导体衬底的正面形成第一沟槽及第二沟槽,第二沟槽和第一沟槽的交界位置形成台阶;在第二沟槽中形成第一感应层,在第一沟槽中形成第二感应层,第二沟槽的部分底壁与第一感应层之间形成第一空腔,第一感应层中具有第一开口阵列,第二感应层与第一感应层之间形成第二空腔,第二感应层中具有第二开口阵列,半导体衬底的背面具有第三沟槽;形成第三感应层及介质层,第三感应层与第二感应层之间形成第三空腔,第三感应层及介质层中具有第三开口阵列;第一电极与第一感应层电性连接,第二电极与第二感应层电性连接,第三电极与第三感应层电性连接。 |
