与蚀刻机联机运行的酸性蚀刻液在线电解再生回收系统

基本信息

申请号 CN201420194913.7 申请日 -
公开(公告)号 CN203846109U 公开(公告)日 2014-09-24
申请公布号 CN203846109U 申请公布日 2014-09-24
分类号 C23F1/46(2006.01)I;C25C1/12(2006.01)I;C25C7/00(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 赵国鹏;胡耀红;钟洪胜;徐海清;袁国伟;陈力格;罗慧梅 申请(专利权)人 广州市二轻研究所股份有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 付茵茵;黄磊
地址 510663 广东省广州市高新技术产业开发区科学城科研路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及与蚀刻机联机运行的酸性蚀刻液在线电解再生回收系统,包括电解槽,电解槽包括阴极室和阳极室;阳极室的数量为一个,阴极室的数量为多个;多个阴极室均位于阳极室内;阴极室和阳极室之间通过离子交换膜隔开。本实用新型具有结构简单,有效提高阳极与阴极的面积比例,可沉积出致密的铜块,沉积效果好,且全程自动控制的优点,属于原材料的回收循环利用领域。