快恢复二极管及制作该二极管的方法

基本信息

申请号 CN201210077697.3 申请日 -
公开(公告)号 CN103311314B 公开(公告)日 2016-08-03
申请公布号 CN103311314B 申请公布日 2016-08-03
分类号 H01L29/861(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 贾会霞 申请(专利权)人 深圳市立德电控科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518172 广东省深圳市龙岗区清林西路深圳市留学人员(龙岗)创业园一园225
法律状态 -

摘要

摘要 一种快恢复二极管,包括一N型高掺杂硅衬底、一第一N型掺杂半导体层、一第二N型掺杂半导体层、一二极管阳极层,所述第一N型掺杂半导体层位于第二N型掺杂半导体层和N型高掺杂硅衬底之间,所述第一N型掺杂半导体层的掺杂浓度低于第二N型掺杂半导体层的掺杂浓度,所述第一N型掺杂半导体层的宽度为5μm至50μm、掺杂浓度为5e12/cm3?5e14/cm3。上述快恢复二极管可在反向恢复时能够提供足够的载流子浓度,从而得以维持电流下降的软度。本发明还提供了一种快恢复二极管的制作方法。